[Download] "EE Text センサ・マイクロマシン工学" by 藤田博之 # eBook PDF Kindle ePub Free

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eBook details

• Title: EE Text センサ・マイクロマシン工学
• Author : 藤田博之
• Release Date : January 07, 2005
• Genre: Engineering,Books,Professional & Technical,
• Pages : * pages
• Size : 286646 KB

Description

※この電子書籍は紙版書籍のページデザインで制作した固定レイアウトです。



センサとマイクロマシンの基礎から応用まで解説した教科書!

【平成19年度 電気学会著作賞 受賞】

「電気学会-オーム社教科書新シリーズ共同出版企画」の1巻。電気・電子・機械系の専門課目であるセンサ・マイクロマシン工学の教科書。

本書は、センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらには化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説し、近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応している。

1章 本書の構成と使い方

2章 センサ・マイクロマシンの概要

3章 微細構造製作プロセス技術

4章 物理センサ

5章 マイクロアクチュエータとマイクロマシン

6章 化学センサとマイクロ化学システム

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